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13544009780薄膜沉積過(guò)程中，氣體若含有微?；驘N類污染物，會(huì)導(dǎo)致薄膜孔洞、剝落或電性失效。例如，在CVD工藝中，顆粒物可能成為成核點(diǎn)，引起不均勻沉積;在PVD中，污染物可能干擾濺射靶材的純度。過(guò)濾器能消除湍流和顆粒攜帶問題，確保氣流平穩(wěn)，防止工藝腔體污染...
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