實(shí)驗(yàn)室超純氣體管道主要用于輸送電子級(jí)高純氣體(如高純氬氣、高純氦氣)，應(yīng)用于半導(dǎo)體材料制備、微電子實(shí)驗(yàn)等高端領(lǐng)域，氣體純度直接影響實(shí)驗(yàn)樣品的性能和檢測結(jié)果。

使用過濾器的原因

即使是高純度氣源，在管道輸送過程中也可能受到微量微粒污染，這些污染物會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體芯片缺陷、納米材料制備失敗，需通過超純過濾器實(shí)現(xiàn)極致凈化。

過濾器介紹

恒歌實(shí)驗(yàn)室氣體管道超純過濾器采用 316L 不銹鋼全材打造，搭配 UHP 級(jí)濾芯，可清除 0.003μm 以上超細(xì)微粒，氣體凈化后純度達(dá) 99.9999%，安裝方式與實(shí)驗(yàn)室標(biāo)準(zhǔn)管道完美適配。

過濾器特點(diǎn)

? 超純級(jí)過濾精度，滿足電子級(jí)氣體要求

? 低死體積設(shè)計(jì)，減少氣體殘留

? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕性能優(yōu)異

? 潔凈室環(huán)境生產(chǎn)，避免二次污染

? 100% 氨氣檢漏與完整性測試

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室、納米材料實(shí)驗(yàn)室、微電子研發(fā)中心的超純氣體管道系統(tǒng)，適配各類高純惰性氣體和工藝氣體。