恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導體行業集成氣體輸送與控制系統設計的高性能氣體過濾設備。該過濾器采用全316L不銹鋼構造，堅固耐用，緊湊的體型融合了全焊接與機械密封技術，確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達0.003μm，能夠實現9-LRV清潔度，有效保障氣體的超高純度。此外，該過濾器支持高達100slpm的大流量，助力設備升級無憂，適用于多種半導體工藝氣體，確保系統的高效運行。

產品特點

●  整體316L不銹鋼結構

采用316L不銹鋼材質，確保過濾器在高壓和腐蝕性氣體環境中的穩定性和耐用性。這種材質不僅堅固耐用，還具有優異的耐腐蝕性能，能夠有效抵御各種化學物質的侵蝕。

●  小型化設計、結構緊湊、不占用空間

過濾器采用小型化設計，結構緊湊，不占用過多安裝空間。其優異的氣體置換和解吸特性，確保氣體流動順暢，過濾效率高。

●  耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

過濾器能夠在高溫、高壓和腐蝕性環境中穩定運行，確保氣體輸送系統的安全性和可靠性。其耐高溫、耐高壓、耐腐蝕的特性使其成為半導體制造中不可或缺的設備。

●  電解拋光316L不銹鋼外殼

外殼采用電解拋光處理，表面光潔度高，減少氣體在輸送過程中的阻力和雜質吸附，進一步提升氣體的純凈度。

●  安裝與檢修便捷高效

過濾器的設計注重安裝和檢修的便捷性，采用機械密封技術，結構上與介質無焊接，確保密封性能的同時，降低了維護成本和設備停機時間。

●  采用機械密封、結構上與介質無焊接

采用機械密封技術，確保過濾器在運行過程中的密封性能，避免氣體泄漏。結構上與介質無焊接，進一步提高了過濾器的可靠性和安全性。

應用領域

●  半導體制造

在半導體制造中，氣體的純凈度直接影響芯片的質量和性能。SF系列IGS面板專用過濾器能夠有效去除氣體中的雜質，確保氣體的高純度，從而提高芯片的良品率和生產效率。

●  集成氣體輸送與控制系統

該過濾器兼容C型和W型多種密封規格，能夠無縫集成到現有的氣體輸送與控制系統中，實現高效的氣體凈化和輸送。

●  設備升級與模塊化設計

采用符合SEMI標準的表面安裝元件，便于系統集成與模塊化設計升級。其緊湊的體型和便捷的安裝維護特性，使其成為設備升級的理想選擇。