?在半導(dǎo)體、光伏、新能源和制藥行業(yè)，超高純氣體過(guò)濾器已成為氣體輸送系統(tǒng)中不可或缺的組件。國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)(SEMI)在 F20 與 F38 標(biāo)準(zhǔn)中明確指出，氣體管道中顆粒物濃度必須嚴(yán)格控制，否則將直接影響工藝良率和設(shè)備壽命。隨著芯片...

恒歌高純高壓氣體專用過(guò)濾器是專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高性能過(guò)濾設(shè)備，過(guò)濾精度高，耐高壓耐腐蝕耐高溫！

恒歌氣體純化過(guò)濾器采用不銹鋼316L制成，通過(guò)物理吸附相結(jié)合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20，O2，CO，CO2，NMHC等雜質(zhì)去除，并且在316L不銹鋼罐體中內(nèi)置了過(guò)濾精度為3納米到100微米的顆粒過(guò)濾器。

恒歌高壓氣體專用過(guò)濾器、用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力以及相對(duì)較輕的重量相結(jié)合、兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長(zhǎng)壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)?..

電子氣作為半導(dǎo)體制造的 “血液”，其純度直接影響芯片的質(zhì)量與性能。深圳恒歌的特氣柜電子氣氣體過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)打造，為電子氣的潔凈輸送提供堅(jiān)實(shí)保障。

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，氣體的純度是影響產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一。深圳恒歌的BF系列大宗氣體專用過(guò)濾器，專為超高純工藝氣體在線過(guò)濾而設(shè)計(jì)，能夠有效去除氣體中的雜質(zhì)，確保氣體的超高純度。

在工業(yè)生產(chǎn)中，壓縮空氣系統(tǒng)的氣體質(zhì)量直接影響到生產(chǎn)設(shè)備的運(yùn)行效率和產(chǎn)品質(zhì)量。深圳恒歌的壓縮空氣系統(tǒng)不銹鋼高純氣體過(guò)濾器，以其卓越的性能和高效過(guò)濾能力，成為提升氣體質(zhì)量的關(guān)鍵設(shè)備。該過(guò)濾器采用堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)壓力高達(dá)50Mpa，...

適用于高壓工況下的氣體及液體過(guò)濾，體積小，安裝方便，為高壓運(yùn)行系統(tǒng)提供了相當(dāng)高的技術(shù)和經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢(shì)。產(chǎn)品應(yīng)用范圍廣，與大多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性；微納米顆粒過(guò)濾能力保持高流量效率，超小壓降

恒歌不銹鋼高純氣體系統(tǒng)過(guò)濾器對(duì)于超純氣體可通過(guò)多級(jí)處理滿足工況要求，產(chǎn)品無(wú)焊接部位，耐壓性能、安全系數(shù)極高，適用于高壓工況下的氣體及液體過(guò)濾，體積小，安裝方便，為高壓運(yùn)行系統(tǒng)提供了相當(dāng)高的技術(shù)和經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢(shì)。為一些超高壓工況研發(fā)設(shè)計(jì)，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)...

?恒歌高壓氣體過(guò)濾器主要用于過(guò)濾空氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、氮?dú)獾雀黝惛邏簹怏w，能夠有效去除氣體中的顆粒物、水分、油分等雜質(zhì)，確保氣體的純凈度和質(zhì)量，為下游工藝提供可靠的氣體供應(yīng)。

擴(kuò)散器專用過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性，擴(kuò)散器專用過(guò)濾器過(guò)濾精度可達(dá)0.003μm。獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過(guò)濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對(duì)工藝室...

半導(dǎo)體氣體過(guò)濾器_超高壓氮?dú)鈿錃飧呒冞^(guò)濾器大型設(shè)備