恒歌0F系列在線式專用氣體過濾器是專為高流量電子級氣體超純凈化設計的高效過濾設備。其過濾精度高達0.003μm，能夠有效去除氣體中的微小顆粒和雜質，確保氣體的超高純度。該系列過濾器采用全焊接316L不銹鋼外殼，結構緊湊、強度高，與多種半導體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。

產品特點

●  整體316L不銹鋼結構：采用316L不銹鋼材質，確保與多數高純度半導體工藝氣體的兼容性。

●  超高顆粒攔截率：顆粒攔截效率高達99.9999999%，能夠有效去除0.003μm以上的顆粒。

●  高流量、高強度、穩定可靠：設計用于高流量氣體供應，確保氣體供應的穩定性和可靠性。

●  適用于多種工藝氣體：與多種半導體工藝氣體兼容，滿足不同工藝需求。

●  可選其他點位在線安裝：安裝方便快捷，可根據工藝需求選擇不同的安裝位置。

●  100%完整性測試與氨氣檢漏測試：出廠前經過嚴格測試，確保產品的高質量和可靠性

0F系列在線式專用氣體過濾器廣泛應用于以下領域：

●  半導體制造：在半導體生產過程中，氣體的高純度對產品質量至關重要。該過濾器能夠有效去除氣體中的雜質，確保半導體制造工藝的純凈度。

●  LED與光伏產業：在LED和光伏生產中，氣體的純凈度直接影響產品的性能和壽命。0F系列過濾器能夠提供超高純度過濾，滿足這些行業的嚴格要求。

●  MEMS設備：在微機電系統(MEMS)設備制造中，氣體的純凈度對設備的精度和可靠性至關重要。該過濾器能夠確保氣體的高純度，保障MEMS設備的生產質量。

●  大流量特種氣體供應：適用于需要大流量氣體供應的場合，如大宗氣體供應系統，確保氣體供應的穩定性和純凈度。

●  超高純度氣棒：在需要超高純度氣體的工藝中，如氣棒應用，0F系列過濾器能夠提供可靠的氣體凈化解決方案。

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